在用润滑油中的磨损微粒包含着有关零部件的磨损状态、机器工况以及系统污染程度等丰富信息，通过对磨损微粒的监测，在不停机、不解体的情况下即可推断出设备发生异常磨损的部位、原因及发展趋势。
润滑油品中磨损微粒的监测诊断技术主要是铁谱技术和光谱技术。铁谱技术是利用高梯度强磁场作用，将在用润滑油样中分离出磨损微粒，借助仪器去检验分析磨损微粒的形貌、大小、数量、成分等，进而对相关摩擦副的磨损状态、机械设备的运转状态进行诊断。由于分离、检测磨损微粒方法的不同，研制出不同的铁谱仪，例如，在实验室里使用的有直读式铁谱仪、分析式铁谱仪、旋转式铁谱仪等。现场自动连续监测的，直接装在润滑系统中的在线式铁谱仪有：在线铁谱仪、智能在线铁谱仪、磨粒铁谱仪等，它们都具有自动完成定时采样、数据分析、显示、打印、通信及声光报警等功能。
润滑油光谱分析技术可以有效地监测在用润滑油品所含磨损微粒的成分及其含量的变化。光谱分析技术可分为原子发射光谱技术和原子吸收光谱技术，相应的仪器有原子发射光谱仪和原子吸收光谱仪。原子吸收光谱仪分析灵敏度高，分析可靠，但由于存在油样预处理较繁、待测多种元素需多个元素灯等缺点，致使操作麻烦、分析速度慢。原子发射光谱仪由于操作简单、油样不须处理、分析速度快、分析精度高等优点而发展很快，它特别适合含有多材质摩擦副(例如发动机系统)的设备群体监测。具有代表意义的仪器美国的超谱M型油液分析直读光谱仪。
超谱M型油液分析直读光谱仪是美国三军机械设备状态监测采用的仪器，是目前世界上公认的最先进的轻便型油液分析光谱仪。它可以定量检测润滑油及燃油中的磨损微粒、污染元素、添加剂成分等，其检测精度高、分析速度快、操作简便，由于仪器采用全封闭，故可以用于污染环境下现场监测。
M型油料分析光谱仪是在FAS-2C型油料分析光谱仪基础上研制出的小型、轻便式多元素油料分析光谱仪。它分析速度快，一小时可分析60个油样，并突破了光谱仪不能检测大磨损微粒的限制，可以检测A1、Fe、Ag、Si、Ti、Mg等六种元素的较大颗粒。它也具有分析燃油成分的功能，可判断燃油是否变质或被污染。由于仪器小型、轻便、对环境条件要求不高，所以也适宜现场监测。
机械设备的故障形式多种多样各不相同，原因是复杂和交错影响的，故障源也可能是多源头的，所以应综合采用多种监测技术和手段，再借助于专家的知识和经验或专家系统，才能够可靠地诊断机械设备的状态异常或摩擦副故障的部位和原因。
